课程名称:第26期“见微知著”培训课程:红外探测器焦点技术主办单元:麦姆斯咨询协办单元:上海传感信息科技有限公司、华强电子网一、课程简介突如其来的新冠病毒疫情让“红外测温”广为人知2020年当之无愧“红”透全球的产物就属各种抗疫测温仪器(例如:额温枪、耳温枪、热像仪),其中最焦点的器件即是红外探测器,需求巅峰时“一颗难求”、“价钱冲天”,更有人炒作成期货。从本质上看,红外探测是一种辐射能转换技术,可将吸收到的红外辐射能转换为便于丈量或视察的电能、热能等其它形式的能量。
凭据能量转换方式,红外探测器通常分为热探测器(热阻效应、热伏效应、热气动效应、热释电效应)和光子探测器(光生伏特效应、光电导效应、光电磁效应、光发射效应)两大类。我们常见的测温仪器、安防监控、执法搜救等民用产物均接纳热探测器——包罗微测辐射热计、热电堆、热释电等类型。
相较于光子探测器,热探测器具有价钱自制、尺寸小巧、无需制冷、技术成熟等优势。红外-可见光探测器及成像示例(泉源:麦姆斯咨询)若问在众多类型的红外探测器之中,2020年“爆款”数谁?热电堆见义勇为!受新冠病毒疫情影响,集成单点热电堆探测器的额温枪以其宁静、便捷、高精度等优势,已成为日常事情和生活的“标配”。而将红外测温功效集成到智能手机,也成为众多厂商瞄准的商机。今年6月,华为公布了全球首款集成热电堆传感器的智能手机:荣耀Play4 Pro红外测温版,有望掀起“随时随地”测温热潮。
此外,红外探测器厂商努力结构热电堆阵列技术,期望拓展越发辽阔的应用空间:以空调、照明、安防为代表的智能家居,以客流统计、行为分析为代表的智慧零售……热电堆工业热潮吸引了国家智能传感器创新中心、上海微技术工研院、烨映电子、森霸传感、炜盛科技、西人马、创芯海微、敏芯股份、芯奥微、慧闻科技等数十家企业投入其中。荣耀Play4 Pro红外测温版集成热电堆探测器,推测是迈来芯(Melexis)MLX90632劈面对机场、地铁站、火车站等人流麋集区域的大规模防疫测温需求时,集成微测辐射热计探测器的热像仪“威力”尽显。这一类应用场景对测温速度、测温规模、测温精度以及在线识别、预警和记载均有较高要求,只有热像仪才气“达标”。
以高德红外、大立科技、睿创微纳、海康微影为代表的微测辐射热计领先企业均在疫情中有突出孝敬。在汽车电子领域,以微测辐射热计为主导的热成像传感器突破了汽车夜视“识人难”的僵局,有望推动自动驾驶的生长历程。
在智能手机领域,2020年7月,卡特彼勒(CAT)推出新款结实耐用的三防智能手机:S62 Pro,集成FLIR热成像摄像头Lepton,相比上一代产物大幅提升了热成像分辨率。在机械人领域,“无人机+热像仪”也上了今年红外工业的热搜榜,成为远程测温、消防搜救、巡检运维甚至科学研究的“小能手”。卡特彼勒(CAT)S62 Pro手机集成FLIR热成像摄像头Lepton除了上述热探测器,光子探测器也是红外家族中的重要成员,包罗碲镉汞探测器、量子阱探测器、超晶格探测器等。
光子探测器在光谱响应选择性、响应速度、敏捷度等方面具有优势,受到航天航空和军事国防等高端领域的青睐,例如,我国将光子探测器搭载于风云系列气象卫星和“天问一号”火星探测器,各国也将光子探测器应用于制导、火控、瞄准、侦察和监视等军事领域。可是,由于中长波红外光子探测器的制备难度大、造价昂贵、体积庞大,鲜少在商业领域泛起。为了满足宽大红外从业人员对知识的渴求,麦姆斯咨询特此开设《第26期“见微知著”培训课程:红外探测器焦点技术》,主要针对长波和中波红外光谱来剖析其焦点探测器。
我们邀请到在红外探测器领域中拥有富厚实践履历的知名企业家、技术卖力人、著名高校和研究所专家,为大家带来一场知识盛宴。本次课程内容涵盖热探测器和光子探测器的主流技术,主要包罗:(1)红外探测与成像技术综述;(2)微测辐射热计探测器;(3)热释电探测器;(4)微悬臂梁探测器;(5)光学超构质料红外探测器;(6)热电堆探测器;(7)量子点红外探测器(QDIP);(8)碲镉汞探测器;(9)Ⅱ类超晶格探测器。二、工具本课程主要面向红外探测与成像工业链上下游企业的研发人员和治理人员,以及高校师生。
对希望相识红外技术的非专业配景人员也具有很是好的启发性作用,如市场销售人员、投资机构人员、政府治理人员等。三、时间2020年9月18日~9月20日四、所在无锡市(详细地址以培训前一周的开课邮件通知为准)五、内容一:红外探测与成像技术综述讲师:浙江大立科技股份有限公司 副总司理 姜利军红外探测器是红外测温和成像系统中的焦点器件,也是探测、识别和分析物体红外信息的关键要素。
随着红外探测器在新质料、新结构、新工艺和光机电集成一体化等方面不停探索,种种红外系统及应用也在推陈出新,与时俱进。本课程将从红外光谱基础知识入手,理清红外探测器纷繁庞大的产物分类和技术趋势,剖析非制冷红外探测器的典型产物和整体工业格式,为后续课程奠基坚实的基础!提纲:(1)红外光谱基础知识;(2)红外探测器观点及技术门路;(3)制冷 vs. 非制冷;(4)热探测器 vs. 光子探测器;(5)非制冷红外探测器技术对比;(6)典型非制冷红外探测器产物分析;(7)非制冷红外探测器生长趋势;(8)非制冷红外探测器工业竞争格式(国际和海内);(9)红外热成像市场与应用分析;(10)典型防疫产物分析:额温枪、体温筛检系统。课程二:微测辐射热计探测器讲师:上海巨哥电子科技有限公司 总司理 沈憧棐微测辐射热计是红外热像仪探测器的主力军,随着2020年机场、车站、企业楼宇等基础设施对红外热像仪需求的激增,其市场规模有望翻倍。
微测辐射热计是使用热敏质料的电阻变化来丈量辐射热量的传感器,氧化钒(VOx)薄膜和非晶硅(a-Si)是其主要热敏质料。此外,结构悬浮微桥结构也是影响微测辐射热计制造成败及性能崎岖的关键因素。本课程将重点教学微测辐射热计的事情原理、关键技术及工业现状,先容防疫检测、车载夜视等当前热门应用,并为学员剖析常见的热像仪类型及典型应用案例。
提纲:(1)微测辐射热计事情原理、结构及质料体系(非晶硅、氧化钒);(2)微测辐射热计设计、制造、封装和测试的主要问题息争决方法;(3)微测辐射热计技术生长趋势;(4)微测辐射热计工业现状及主要供应商。(5)微测辐射热计典型应用先容,如新冠肺炎防疫监测、智能手机、车载夜视仪、无人机等;(6)成像型与测温型热像仪;(7)基于微测辐射热计的气体成像技术及应用。
三:热释电探测器讲师:华中科技大学 副教授 易飞热释电探测器是使用热释电质料的自发极化强度随温度而变化的效应制成的热敏型传感器。热释电质料主要有单晶和陶瓷两大类:以硫酸三甘酞(TGS)和钽酸锂(LiTaO3)为代表的单晶;以锆钛酸铅(PZT)为代表的陶瓷。热释电探测器凭借其制备工艺简朴、成本低廉等特点,在热探测器市场中占有一席之地。
本课程将从热释电探测器的事情原理及敏感质料出发,重点剖析热释电探测器的主要技术问题息争决方案,并探讨其工业现状及典型应用案例。提纲:(1)热释电探测器事情原理、结构及质料体系(单晶钽酸锂晶体、压电陶瓷、高分子薄膜等);(2)热释电探测器设计、制造工艺、封装和测试主要问题息争决方法;(3)热释电探测器技术生长趋势;(4)热释电探测器工业现状及主要供应商;(5)薄膜型热释电探测器阵列技术及应用(人体/情况探测与热成像)。四:微悬臂梁探测器讲师:华中科技大学 副教授 易飞微悬臂梁探测器是使用“基于MEMS工艺制作的悬臂梁”吸收红外辐射后发生的力学形变来举行红外探测。微悬臂梁通常接纳金属(如铝)和半导体(如氮化硅)两种质料制作薄膜并粘合在一起。
由于两种质料的热膨胀系数差异较大,微悬臂梁会随着温度变化而发生弯曲。通过检测微悬臂梁和衬底形成的一个可变电容变化可以得知微悬臂梁的弯曲情况,从而可以探测红外辐射的信息。本课程将首先梳理微悬臂梁探测器的基础知识,然后详细解说微悬臂梁探测器的焦点技术和技术生长趋势,最后剖析微悬臂梁探测器的工业现状和典型应用案例。提纲:(1)微悬臂梁探测器换能原理、结构及质料体系;(2)微悬臂梁探测器设计、制造、封装和测试的主要问题息争决方法;(3)微悬臂梁探测器技术生长趋势;(4)微悬臂梁探测器工业现状及主要供应商;(5)微悬臂梁探测器典型应用先容。
五:光学超构质料红外探测器讲师:华中科技大学 副教授 易飞人工微纳结构可以改变电磁波传输历程中的电磁参数空间漫衍,从而有效操控电磁波的传输与局域效应。使用超构质料耦合传统红外探测器将有望颠覆传统探测强度,使红外探测器向多维度、数据立方探测偏向生长,同时还可降低光学系统的庞大度和成本。本课程将从人工微纳结构的基础知识入手,重点剖析光学天线阵列和超构质料探测器的主要技术问题息争决方案,并探讨其研究趋势及工业化历程。提纲:(1)人工微纳结构光学简介:导波光学、光子晶体、外貌等离激元、超构质料;(2)光学超构质料的结构、表征、吸收体质料和制备工艺;(3)光学天线阵列的事情原理、结构和质料体系;(4)超构质料探测器(悬臂梁探测器/钽酸锂探测器)设计、制造、封装和测试的主要问题息争决方法;(5)光学超构质料红外探测器的研究现状及技术趋势分析;(6)光学超构质料红外探测器研究机构动态及工业化历程。
六:热电堆探测器讲师:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究员 李铁热电堆探测器是基于塞贝克效应(Seebeck Effect)亦或温差电效应的“光-热-电”二级转换传感器。随着MEMS技术的迅速生长,基于CMOS-MEMS的热电堆探测器凭借其尺寸小、重量轻、敏捷度高、噪声小、成本低等优势,获得了诸多市场的青睐。本课程将首先先容热电堆探测器事情原理,然后详细论述MEMS热电堆探测器的焦点技术和工业现状,最后对基于热电堆的红外气体传感器举行剖析。
提纲:(1)热电堆探测器事情原理;(2)MEMS热电堆探测器设计、制造、封装和测试的主要问题息争决方法;(3)热电堆探测器工业现状;(4)基于热电堆的红外气体传感器原理;(5)红外气体传感器技术及应用。七:量子点红外探测器(QDIP)讲师:电子科技大学 教授 巫江相比传统体质料,低维半导体质料在某一个维度上具有亚微米、纳米甚至原子级几何尺寸,其庞大的比外貌积以及优异的光电转换特性使其在红外探测领域具有得天独厚的优势。
量子点就是一种零维或准零维点结构质料,具备低成本、室温事情、光电导响应率高、可制备柔性器件等优势,PbS、HgTe胶体量子点是现在研究较多的红外探测器类型。本课程将从低维半导体质料及探测器的基础理论入手,重点剖析典型量子点探测器的主要技术问题息争决方案,并探讨其研究趋势、工业化历程及应用前景。提纲:(1)低维半导体质料先容(量子点、石墨烯、黑鳞等);(2)新型低维质料红外探测器(PbS量子点红外探测器、石墨烯光电探测器、黑磷光电探测器)简介;(3)量子点典型质料(PbS胶体量子点、HgTe胶体量子点)生长、转移、表征、制备要点及调控手段;(4)QDIP事情原理、器件结构(垂直型、横向型)及探测性能(载流子寿命、暗电流、光谱响应、事情温度);(5)QDIP设计、制造工艺、封装和测试主要问题息争决方法;(6)QDIP研究现状分析、新质料体系及技术趋势分析;(7)QDIP研究机构动态及工业化历程先容;(8)新型低维质料红外探测器典型应用先容:量子点近红外成像、量子点红外气体探测。八:碲镉汞探测器讲师:武汉高德红外股份有限公司 探测器中心副主任 周文洪空间应用是推动碲镉汞红外探测器技术生长的主要推动力之一。
碲镉汞质料是由负禁带HgTe和正禁带CdTe混淆而成具有直接带隙的贋二元化合物质料,在红外探测器技术的生长中一直处于主流职位,至今仍然是重要战略战术应用中的首选质料体系。近十年,基于CdZnTe基的长波碲镉汞质料和Si或GaAs基异质衬底碲镉汞质料的技术已到达实用化应用水平。
而碲镉汞探测器也是现在为数不多能在整个红外波段(1~16μm)均展现高性能的光子探测器。本课程将从光子探测器事情原理及敏感质料出发,重点剖析碲镉汞探测器的主要技术问题息争决方案,并探讨其工业现状及应用前景。提纲:(1)光子探测器事情原理(光伏型、光导型、光发射等)及敏感质料(HgCdTe、SiGe、InGaAs、PbSe、PbS、PtSi等);(2)碲镉汞外延衬底特点、制备工艺和评价参数;(3)碲镉汞光伏型探测器的质料特点;(4)碲镉汞光伏型探测器设计、制造(分子束外延MBE、金属有机化学气相沉积法MOVCD)、封装(杜瓦封装)和测试的主要问题息争决方法;(5)碲镉汞探测器技术生长趋势(碲镉汞APD器件、高温器件);(6)碲镉汞探测器工业现状及主要供应商;(7)碲镉汞探测器应用前景及市场先容,如民用领域、航空航天、军事国防、科学研究等。
九:Ⅱ类超晶格探测器讲师:武汉高德红外股份有限公司 探测器中心副主任 周文洪提高器件事情温度、多波段同时成像、降低器件成本是制冷型光子探测器的生长偏向,Ⅱ类超晶格质料所具有的能带工程结构特征以及同时笼罩短-中-长波红外波段(2~30μm),恰好成为实现以上需求的“良药”。Ⅱ类超晶格质料是一种人工光电质料,其家族主要由InAs、GaSb和AlSb组成;凭据这三个成员的禁带能级结构,接纳差别的组合可以形成三种超晶格结构:GaSb/AlSb形成Ⅰ类超晶格结构;InAs/AlSb形成禁带跨接型Ⅱ类超晶格结构;InAs/GaSb形成禁带错位型Ⅱ类超晶格结构。
正是由于近十多年来海内研究机构和企业在该质料和器件研究中取得大量希望,才缩小了中国红外探测器领域与西欧国家的差距,同时也快速推动了高端光子探测器工业化的历程。本课程将领导大家学习Ⅱ类超晶格探测器基础知识,解说主要技术难点息争决方法,同时展示Ⅱ类超晶格探测器的典型应用案例。
提纲:(1)Ⅱ类超晶格探测器事情原理(带间跃迁)、结构及质料体系(Ⅲ-Ⅴ族);(2)制冷型探测器生长偏向及技术门路;(3)砷化铟/锑化镓(InAs/GaSb)Ⅱ类超晶格探测器设计、制造(分子束外延MBE)、封装和测试主要问题息争决方法;(4)Ⅱ类超晶格探测器技术生长趋势(高温器件、双色/小像元技术);(5)Ⅱ类超晶格探测器工业现状、主要供应商及应用案例。六、师资先容姜利军,麦姆斯咨询2019年度“优秀讲师”,博士,结业于美国新泽西理工学院质料科学与工程学专业,浙江大立科技股份有限公司副总司理,同时担任杭州大立微电子有限公司董事、总司理。他恒久从事非制冷红外焦平面探测器研制及生产,先后实现35μm、25μm、17μm、15μm、12μm像元探测器的批量化制造和应用,完成了百万级像素的非制冷红外焦平面探测器研制。
担任核高基、重大科学仪器开发等国家重大专项卖力人。沈憧棐,麦姆斯咨询2019年度“良好讲师”,博士,上海巨哥电子科技有限公司总司理。他1989年考入清华大学物理系,1996年赴美留学就读于普林斯顿大学电子工程系,并于2001年获得博士学位后留美事情。
2008年回国开办上海巨哥电子科技有限公司,致力于推动红外热成像技术的民用化,在红外成像准确测温、低成本红外探测器等偏向上具有众多前瞻性的研发结果和富厚的行业应用履历。易飞,麦姆斯咨询2019年度“最受接待讲师”,博士,华中科技大学光电信息学院副教授,主要从事人工光学微结构及其相关器件的研究,如下一代红外探测器与新型传感器芯片、面向微波光子学与片上高速光互联的光子集成芯片等。
他于2011年获得美国芝加哥西北大学电子工程与盘算机科学系博士学位,曾作为会见学者事情于新加坡科技局数据存储研究中心,后于美国费城宾夕法尼亚大学质料科学与工程学系从事博士后研究。他先后主持国家自然科学基金青年项目“面向气体传感的多波长窄带红外探测器研究”、深圳市科技创新委员会基础研究项目“像元级集成光学信息处置惩罚功效的高性能红外探测器芯片研究”,现在正在主持国家自然科学基金面上项目“超外貌双色偏振热探测器研究”,并多次到场过美国自然科学基金(NSF)和美国国防部高等研究项目局(DARPA)的研究项目。
迄今揭晓SCI收录论文26篇,揭晓集会论文19篇,其中高影响力论文5篇;Web of Science他引230次;已授权美国专利2项,申请海内专利2项并出书过专著;并在CLEO、OFC、SPIE Photonics West等国际光学集会上口头陈诉13余次。李铁,博士,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师。恒久从事热电堆红外探测器的设计、制作、封装,红外气体传感器以及纳米质料和敏感器件等研究。
他出生于1970年,1992年本科结业于中国科学技术大学物理系,1997年博士结业于中国科学技术大学凝聚态物理专业,同年进入中国科学院上海微系统所从事博士后研究。1999年进入微光机电系统领域,从事微机械器件研究。1998年赴日本电子技术综合研究所从事互助研究。
2002年1月至2003年6月赴美国Delphi汽车电子公司,从事高敏捷度红外酒精传感器研究。先后卖力并完成了科技部973项目、中国科学院、上海市等30余项重大项目,已在Phys.Rev.B、J.Phys.:Conden.Matt.、Jpn.J.Appl.Phys.等国际著名刊物上揭晓论文50余篇,获得专利十余项。巫江,博士,电子科技大学基础与前沿研究院教授、博士生导师。
先后在美国和英国留学、从事科研教学事情10余年,曾任英国化合物半导体未来制造中心KPI、伦敦大学学院终身教职、博士生导师。研究领域包罗化合物半导体外延生长机理、低维结构中关于物质作用、以及量子结构光电器件特性与性能等问题,实现了高性能III-V族中红外探测器、硅基III-V量子点激光器、新型低维结构光电探测器件等。揭晓学术论文100余篇,引用5000余次,其中影响因子10.0以上论文40余篇。授权发现专利10余项,出书英文专著4部。
现为英国高等教育学会会士、IEEE高级会员、中国光学工程学会高级会员、意大利教育大学与科研部(MIUR)注册专家(应用研究类)、Nanoscale Research Letters主编、IEEE Access副编辑、Frontiers in Electronics副编辑、Nano-Micro Letters、中国焦点期刊《实验科学与技术》等期刊编委委员、先进光电子四川省青年科技创新研究团队卖力人、伦敦大学学院Arena Fellow。周文洪,麦姆斯咨询2019年度“最受接待讲师”,博士,结业于中国科学院上海技术物理研究所,主要从事碲镉汞异质结焦平面探测器的芯片技术研发。
现担任武汉高德红外股份有限公司探测器中心副主任,以及武汉高芯科技有限公司副总司理,主要卖力制冷型红外焦平面探测器的研发事情,领导高德红外项目团队在海内首次实现了超晶格探测器样机制备和结果判定。他曾获得第二届“2016年中国光学工程学会创新奖”。
七、用度和报名方式咨询请发送电子邮件至PENGLin#MEMSConsulting.com(#改成@),邮件题目花样为:培训报名+红外探测器培训+单元名称+人数。麦姆斯咨询联系人:彭琳电话:173-6835-7393E-mail:PENGLin#MEMSConsulting.com(#改成@)。